Структурные и физические свойства пленок SiCx и SnOx

Структурные и физические свойства пленок SiCx и SnOx
Доступно в форматах: EPUB | PDF | FB2
Страниц:
Язык: Русский
В работе проведено исследование особенностей процесса кристаллизации, микроструктуры и фазового состава слоев SiCx (x = 0,03?1,4), синтезированных имплантацией ионов углерода с энергиями 40, 20, 10, 5 и 3 кэВ в кремний (научный консультант - профессор Нусупов К.Х.); а также комплексное исследование оптических и электрофизических свойств, микроструктуры и фазового состава тонких пленок SnOx, синтезированных методами золь-гель технологии, магнетронного реактивного распыления и ионно-лучевого распыления, модифицированных термической и плазменной обработками. В широкозонных полупроводниковых пленках SiC и SnO2, обладающих высокой твердостью, химической стойкостью, высокой температурой плавления и способных работать при повышенных температурах, характерным свойством и общей проблемой является сегрегация одного из компонентов: С в слоях SiCx и Sn в слоях SnOx. Обработка в плазме тлеющего разряда пленок SiCx перед отжигом позволила существенно улучшить кристаллическую структуру пленок за счет распада прочных углеродных кластеров, а обработка в плазме пленок SnOx - значительно увеличить их газочувствительность и прозрачность за счет окисления и кластеризации в едином процессе.

Отзывы


Те, кто смотрел эту страницу, также интересовались:

In Search of the Racial Frontier – African Americans in the American West 1528–1990 (Paper)
In Search of the Racial Frontier – African Americans in the American West 1528–1990 (Paper)
Самораскрытие. Внутренняя Алхимия  Света и Тьмы, Анне Астильерос
Самораскрытие. Внутренняя Алхимия Света и Тьмы, Анне Астильерос
Сергиев Посад. Свято-Троицкая Сергиева Лавра. Часть 1. Путеводитель по городу
Сергиев Посад. Свято-Троицкая Сергиева Лавра. Часть 1. Путеводитель по городу

Часто задаваемые вопросы

1. Какой формат книги выбрать: PDF, EPUB или FB2?
Тут все зависит от ваших личных предпочтений. На сегодняшний день, каждый из этих типов книг можно открыть как на компьютере, так и на смартфоне или планшете. Все скачанные с нашего сайта книги будут одинаково открываться и выглядеть в любом из этих форматов. Если не знаете что выбрать, то для чтения на компьютере выбирайте PDF, а для смартфона - EPUB.

2. Можно ли книги с вашего сайта читать на смартфоне?
Да. Как для iOS, так и для Android есть много удобных программ для чтения книг.

3. В какой программе открыть файл PDF?
Для открытия файла PDF Вы можете воспользоваться бесплатной программой Acrobat Reader. Она доступна для скачивания на сайте adobe.com